十萬(wàn)級(jí)電子潔凈車間檢測(cè) 內(nèi)容和方法--安衡檢測(cè)

因?yàn)樵谶^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)容易產(chǎn)生靜電，會(huì)損壞CMOS集成度。一般來(lái)說(shuō)，電子車間的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度應(yīng)控制在50-60之間（特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。此時(shí)，能有效消除靜電，讓人心情舒暢。芯片生產(chǎn)車間、集成電路潔凈室和磁盤(pán)制造車間是電子制造潔凈室的重要組成部分。

噪聲：一般情況下可只檢測(cè)：A聲級(jí)的噪聲，必要時(shí)可采用帶倍頻程分析儀的聲級(jí)儀，按中心頻率63、125、250、500、1000、2000、4000、8000Hz的倍頻程檢測(cè)，測(cè)點(diǎn)附近1m內(nèi)不應(yīng)有反射物。聲級(jí)計(jì)的小刻度不宜低于0.2dB（A）。測(cè)點(diǎn)距地面高度1.1m。面積在15m2以下的潔凈室，可只測(cè)室中心1點(diǎn)，15m2以上的潔凈室除中心1點(diǎn)外，應(yīng)再測(cè)對(duì)角4點(diǎn)，距側(cè)墻各1m，測(cè)點(diǎn)朝向各角。當(dāng)為混合流潔凈室時(shí)，應(yīng)分別測(cè)定單向流區(qū)域、非單向流區(qū)域的噪聲。有條件是，宜測(cè)定空調(diào)凈化系統(tǒng)停止運(yùn)行后的本底噪聲，室內(nèi)噪聲與本底噪聲相差小于10dB（A）時(shí)，應(yīng)對(duì)測(cè)點(diǎn)值進(jìn)行修正：相差（6~9）dB（A）時(shí)減1dB（A），相差（4~5）dB(A)時(shí)減2dB(A)，相差3dB(A)時(shí)減3dB(A)，相差小于3dB(A)時(shí)測(cè)定值無(wú)效。

電子潔凈車間檢測(cè)  電子無(wú)塵車間檢測(cè)項(xiàng)目:氣流流型目測(cè)、空氣潔凈度等級(jí)、密閉性測(cè)試、靜壓差、噪聲、風(fēng)速或新風(fēng)量、溫度、相對(duì)濕度、照度、微振、自凈時(shí)間等

常規(guī)檢測(cè)項(xiàng)目：塵埃粒子、溫度、相對(duì)濕度、壓差、換氣次數(shù)、照度、噪聲；特殊項(xiàng)目：高效過(guò)濾器檢漏、自凈時(shí)間、微振、靜電、氣密性、氣流流型GMP車間（藥廠）：（GMP車間潔凈度驗(yàn)收、藥廠凈化車間潔凈度檢測(cè)）

照度：室內(nèi)照度的檢測(cè)應(yīng)為測(cè)定出局部照明之外的一般照明的照度，室內(nèi)照度的檢測(cè)可采用便攜式照度計(jì)，照度計(jì)的小刻度不應(yīng)大于2lx。室內(nèi)照度必須在室溫趨于穩(wěn)定之后進(jìn)行，并且熒光燈已有100h以上的使用期，檢測(cè)前已點(diǎn)燃15min以上，白熾燈已有10h以上的使用期，檢測(cè)前已點(diǎn)燃5min以上。測(cè)點(diǎn)距地面高0.8m，按1m~2m間距布點(diǎn)，30m2以內(nèi)的房間測(cè)點(diǎn)距墻面0.5m，過(guò)30m2的房間，測(cè)點(diǎn)離墻1m。

電子制造行業(yè)的加工過(guò)程規(guī)定防靜電和抗震動(dòng)特性，房間內(nèi)汽體品種繁多，因而電子無(wú)塵車間規(guī)定高純和潔凈度等級(jí)； *，室內(nèi)空間設(shè)計(jì)的空噪聲不可過(guò)60db(A)； 次之，無(wú)塵車間室外負(fù)壓差不低于10pa，清潔區(qū)和非清潔區(qū)不低于5pa。 第三，電子加工業(yè)無(wú)塵車間布比卡因的有效分派。單邊流動(dòng)性凈化室應(yīng)大于40%，豎直流動(dòng)性凈化室應(yīng)低于60%。只能那樣布比卡因才可以遍布，不然它將變成部分單邊流動(dòng)性。

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